电液伺服阀是在二战期间由于飞行器等军事装备对控制系统快速性动态精度的更高要求而发展起来的,并在战后逐渐用于民用和工业设备。它是一种接受模拟量电控制信号,输出随电控信号大小和极性变化、且快速响应的模拟量流量和（或）压力的液压控制阀。根据其液压放大器的不同,主要分为喷嘴挡板式伺服阀和射流管式伺服阀。电液伺服阀具有体积小,功率放大率高、直线性好、响应速度快、运动平稳可靠,能适应模拟量和数字量调节等优点,在各种电液伺服系统中得到特别的重视。

    电液比例阀,是针对伺服控制存在的诸如功率损失大、对液压过滤要求高、制造和维护费用高、而它提供的快速响应性在一般工业设备中又往往用不着的情况,是在传统开关阀的基础上发展起来的。电液比例阀可以根据输入电气信号,按比例对工作油液的压力、流量和方向进行控制。

    比例阀发展的初期阶段,仅是将比例电磁铁代替普通液压阀的开关型电磁铁或调节手柄,工作频宽小,稳态滞环大,只能用于开环系统。20世纪70年代中期至80年代初,比例阀开始采用各种内反馈原理,耐高压、比例电磁铁和比例放大器技术日趋成熟。阀的工作频宽达到5～10Hz,稳态滞环降低到3%左右。

    80年代后,比例阀在设计上采用了压力、流量、位移内反馈及电校正等手段,使阀的稳态精度、动态响应和稳定性都有了进一步提高。除了中位仍有部分死区外,其控制性能与伺服阀更为接近。